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沈陽科儀高真空電子?xùn)|及熱阻薄膜沉積系統(tǒng) 真空室結(jié)構(gòu):U形前開門 真空室尺寸:500x500x600mm 極限真空度:≤6.67E-5Pa 沉積源:4個11cc坩堝 樣品尺寸，溫度:φ4英寸，1片，最高800C 占地面積(長x寬x高):約2.7米x1.7米x2.1米 電控描述:全自動 工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤+3% 特色參數(shù):樣品可自轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)

沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)--PVD500 真空室結(jié)構(gòu):方形前開門 真空室尺寸:p500x500x500mm 極限真空度:≤3.0E-5Pa 沉積源:永磁靶4套，2英寸 樣品尺寸，溫度:p4英寸，1片，最高800°C 占地面積(長x寬x高):約2米x1.7米x2米 電控描述:全自動 工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤3%

沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)--TRP450 真空室結(jié)構(gòu):圓筒形前開門 真空室尺寸:φ450x400mm 極限真空度:≤6.6E-6Pa 沉積源:永磁靶3套，2英寸，可以向上濺射或向下濺射。 樣品尺寸，溫度:φ4英寸，1片，最高800C 占地面積(長x寬x高):約1米x1.8米x2米 電控描述:全自動 工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤3%

CT3001A微電流電池測試系統(tǒng)產(chǎn)品特點：可用于鋰電池及超級電容測試等。模塊化設(shè)計，每個模塊為獨立的8個通道

CT3001B 大電流電池測試系統(tǒng)產(chǎn)品特點：可用于動力電池及動力電池組的化成、分容、檢測等。模塊化設(shè)計，每個模塊為獨立的1—8個通道。

CT3001D大電流電池測試系統(tǒng),可用于動力電池及動力電池組的化成、分容、檢測等。